[实用新型]一种基于MOCVD控制太阳能电池外延片生长的系统

摘要

本实用新型公开了一种基于MOCVD控制太阳能电池外延片生长的系统，包括MOCVD反应腔室、光学探测器、温控器及加热电源；MOCVD反应腔室内设有基座和加热盘，外延片承载于基座上，加热盘在对基座进行加热的同时，间接也对基座上的外延片进行加热，加热电源通过加热电极为加热盘供电，MOCVD反应腔室的顶部设有至少三个探测窗口，探测窗口数量与光学探测器数量相一致，外延片根据探测窗口的数量区分有相应个数的区域，一个光学探测器对应一个探测窗口，并负责探测外延片上的相应区域，确保所有光学探测器组合起来能够探测到外延片上的全部区域，光学探测器和加热电源分别与温控器电连接。本实用新型能够实时监测并准确控制外延片的生长温度。

主权项

一种基于MOCVD控制太阳能电池外延片生长的系统，其特征在于：包括MOCVD反应腔室、光学探测器、温控器及加热电源；其中，所述MOCVD反应腔室内设置有能够水平高速旋转的基座及对基座进行加热的加热盘，太阳能电池外延片承载于该基座上，能随基座一起高速旋转，所述加热盘设置在基座的下方，在对基座进行加热的同时，间接也对基座上的外延片进行加热，所述加热电源通过加热电极为加热盘供电，所述MOCVD反应腔室的顶部设有至少三个探测窗口，所述探测窗口的数量应与光学探测器的数量相一致，基座上的外延片根据探测窗口的数量区分有相应个数的区域，一个光学探测器对应一个探测窗口，并负责探测外延片上的相应区域，且确保所有光学探测器组合起来能够探测到外延片上的全部区域，所述光学探测器通过探测窗口向基座上的外延片发射探测光束，探测光束经外延片反射后返回各自相应的光学探测器，光学探测器能够根据接收的反射探测光束及外延片的热辐射，计算得到外延片的温度，所述光学探测器和加热电源分别与温控器电连接，所述加热电源供给加热盘的功率由温控器根据光学探测器测得的外延片温度进行调整。