[实用新型]金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置有效
| 申请号： | 201520929704.7 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN205188440U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 史进;伍志军 | 申请（专利权）人： | 苏州赛森电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其包括金属蚀刻腔体，金属蚀刻腔体内部设置有用于气体传输的特气管道，以及用于产生磁场的磁场线圈；所述特气管道外部设置有管道防护装置，管道防护装置设置于磁场线圈于特气管道端面之上的投影位置；采用上述技术方案的金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其可通过管道防护装置的设置避免特气管道与磁场线圈相接触以导致的相互损坏，从而改善了相关部件的工作寿命，并提高了设备工作的安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蚀刻 设备 内部 磁场 线圈 保护装置 | ||
【主权项】：
一种金属蚀刻设备内部磁场线圈保护装置，其包括金属蚀刻腔体，金属蚀刻腔体内部设置有用于气体传输的特气管道，以及用于产生磁场的磁场线圈；其特征在于，所述特气管道外部设置有管道防护装置，管道防护装置设置于磁场线圈于特气管道端面之上的投影位置。
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