[实用新型]半导体蒸发台用热电偶保护装置有效
| 申请号： | 201520929773.8 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN205188433U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 史进;伍志军 | 申请（专利权）人： | 苏州赛森电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/34;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体蒸发台用热电偶保护装置，其包括有蒸发室腔体，蒸发室腔体内部设置有用于检测温度的温度传感装置，温度传感装置中包含有热电偶；其特征在于，所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套，其沿水平方向进行延伸，所述热电偶设置于热电偶保护套内部；采用上述技术方案的半导体蒸发台用热电偶保护装置，其可通过热电偶保护套以对热电偶起到良好的保护作用，从而避免热电偶受腔体内其余部件影响而发生损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 蒸发 热电偶 保护装置 | ||
【主权项】：
一种半导体蒸发台用热电偶保护装置，其包括有蒸发室腔体，蒸发室腔体内部设置有用于检测温度的温度传感装置，温度传感装置中包含有热电偶；其特征在于，所述半导体蒸发台用热电偶保护装置包含有热电偶保护套，其沿水平方向进行延伸，所述热电偶设置于热电偶保护套内部。
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