[实用新型]磁控直流溅射系统内的冷却装置有效
| 申请号： | 201520929786.5 | 申请日： | 2015-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN205188428U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 史进;伍志军 | 申请（专利权）人： | 苏州赛森电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 215699 江苏省苏州市张*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种磁控直流溅射系统内的冷却装置，其包括有冷却腔室，以及延伸至冷却腔室内的传输轨道；所述冷却腔室内部设置有多个喷气管道，其连通至设置在冷却腔室外部的氮气容器内；所述冷却腔室包括有进料口与出料口，冷却腔室之中，进料口的对应位置设置有辅助冷却室，辅助冷却室内部设置有夹层，夹层内部设置有冷却管道，冷却管道连通至设置在冷却腔体外部的冷却水槽；采用上述技术方案的磁控直流溅射系统内的冷却装置，其可通过辅助冷却室以及其内部的冷却水对于物料进行初步冷却，以使得物料在受氮气作用前得以预先降温处理，从而避免物料在氮气作用下急剧降温而导致其内部残留应力过多，致使物料性能受到影响。 | ||
| 搜索关键词： | 直流 溅射 系统 冷却 装置 | ||
【主权项】：
一种磁控直流溅射系统内的冷却装置，其包括有冷却腔室，以及延伸至冷却腔室内的传输轨道；所述冷却腔室内部设置有多个喷气管道，其连通至设置在冷却腔室外部的氮气容器内；其特征在于，所述冷却腔室包括有进料口与出料口，冷却腔室之中，进料口的对应位置设置有辅助冷却室，辅助冷却室内部设置有夹层，夹层内部设置有冷却管道，冷却管道连通至设置在冷却腔体外部的冷却水槽。
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