[实用新型]双面驱动的双压轴晶面抛光机

摘要

双面驱动的双压轴晶面抛光机，在其机座的中心安装有抛光盘转轴，抛光盘转轴的上端固定安装抛光盘，在机座的上方安装有上支架，上支架上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸的下端安装晶片固定压盘，固定压盘上开有晶片固定孔，在固定压片装置的升降气缸的升降杆顶端安装有转动连接器，转动连接器下端安装转动杆，转动杆的端头与晶片固定压盘连接，在转动杆的中部安装有被动齿轮，在上支架上安装有副电机，副电机的转轴上安装有长齿轮，长齿轮与被动齿轮啮合。由于在固定压盘带动其下的晶片在抛光盘上再次转动，晶片的位置不断从抛光盘的中心转动到其边沿，相对运动速度加快，各晶片的表面与抛光盘的接触较均匀，晶片抛光完成的时间较短。

主权项

双面驱动的双压轴晶面抛光机，在其机座（3）的中心安装有抛光盘转轴（2），抛光盘转轴（2）的下端通过传动齿轮连接主电机（1），抛光盘转轴（2）的上端固定安装抛光盘（4），抛光盘（4）的外围安装有抛光液的接盘（7），在机座（3）的上方安装有上支架（8），上支架（8）上安装有固定压片装置，固定压片装置的升降气缸（15）的下端安装晶片固定压盘（6），晶片固定压盘（6）上开有晶片固定孔（5），抛光盘（4）的上方安装抛光液加入管（14），其特征在于：在固定压片装置的升降气缸（15）的升降杆顶端安装有转动连接器（13），转动连接器（13）下端安装转动杆（11），转动杆（11）的端头与晶片固定压盘（6）连接，在转动杆（11）的中部安装有被动齿轮（10），在上支架（8）上安装有副电机（12），副电机（12）的转轴上安装有长齿轮（9），长齿轮（9）与被动齿轮（10）啮合，在上支架（8）上的固定压片装置安装有两套，两套的结构相同。