[实用新型]平板基座支撑装置

摘要

本实用新型公开了一种平板基座支撑装置，包括由石英制成的圆柱状的支撑体，所述支撑体的一端中心开设圆柱状的卡槽，另一端具有正八边形的连接头，该连接头与支撑体为一体成型。本实用新型通过固定支撑体与连接头的轴向旋转自由度，有效降低了基座惯性引起的位置偏差，排除了引起外延片搭边或贴边的一个主要影响因素，改善了厚度均匀性；通过去除支撑体与连接头的装配公差，相当于提高了支撑体在伺服电机上的安装垂直度，降低了支撑体底部崩边的可能性，减少了备件损耗；通过增加连接头内切圆半径，在旋转扭矩不变的情况下，相当于减小了支撑体与连接头接触部位的扭力，延长了支撑体的疲劳寿命。

主权项

一种平板基座支撑装置，其特征在于：包括由石英制成的圆柱状的支撑体(1)，所述支撑体(1)的一端中心开设用于与伺服电机相连接的圆柱状的卡槽(2)，另一端具有正八边形的连接头(3)，该连接头(3)与支撑体(1)为一体成型。