[实用新型]多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置有效
申请号: | 201520948879.2 | 申请日: | 2015-11-25 |
公开(公告)号: | CN205139042U | 公开(公告)日: | 2016-04-06 |
发明(设计)人: | 王勇 | 申请(专利权)人: | 浙江恒都光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人: | 郑文涛 |
地址: | 314416 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置,其包括检测灯具,所述检测灯具上固定有支架,所述支架与安装支脚通过螺栓组件固定连接,所述支架/安装支脚临近所述安装支脚/支架的一侧设有多个围绕螺栓组件呈环形间隔设置的定位凹槽,所述安装支脚/支架对应的位置设有适于与所述定位凹槽配合的至少一个定位凸台。本实施例中,通过在安装支脚和支架中的一个上设置定位凹槽,在另一个上设置适于与之配合的定位凸台,在需要对灯具的角度调整时,松动螺栓组件然后转动灯具至合适角度,然后使定位凸台与对应的定位凹槽配合后再拧紧螺栓组件,从而实现灯具角度可调,且结构简化易行,具有很好的使用效果。 | ||
搜索关键词: | 多晶 生产 石英 坩埚 裂缝 检测 装置 | ||
【主权项】:
一种多晶硅生产用石英坩埚裂缝检测装置,包括检测灯具(1),其特征在于,所述检测灯具(1)上固定有支架(2),所述支架(2)与安装支脚(3)通过螺栓组件(4)固定连接,所述支架(2)/所述安装支脚(3)临近所述安装支脚(3)/所述支架(2)的一侧设有多个围绕所述螺栓组件(4)呈环形间隔设置的定位凹槽(5),所述安装支脚(3)/所述支架(2)对应的位置设有适于与所述定位凹槽(5)配合的至少一个定位凸台。
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