[实用新型]硅晶片烘干设备有效
| 申请号： | 201520948998.8 | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205138128U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 王勇 | 申请（专利权）人： | 浙江恒都光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B25/00 |
| 代理公司： | 嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙) 33251 | 代理人： | 郑文涛 |
| 地址： | 314416 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅晶片烘干设备，其烘干腔内设有传送链条，所述烘干腔的出料口处安装有门板和用于控制所述门板开启和关闭的驱动装置；所述驱动装置包括气缸，所述气缸的气缸杆端部与所述门板连接；本实用新型中的硅晶片烘干设备的结构合理，在烘干过程中，通过关闭门板能有效防止烘干腔内热量从出料口散失，从而提高了硅晶片的烘干效率及烘干效果，具有很好的使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 晶片 烘干 设备 | ||
【主权项】：
一种硅晶片烘干设备，其烘干腔(1)内设有传送链条(2)，其特征在于，所述烘干腔(1)的出料口(3)处安装有门板(4)和用于控制所述门板(4)开启和关闭的驱动装置。
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