[实用新型]一种空隙尺寸量测工具有效
| 申请号： | 201520955012.X | 申请日： | 2015-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN205120007U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 吴文法 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/14 | 分类号： | G01B5/14 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;胡彬 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种空隙尺寸量测工具，其特征在于，包括多个依次套设的圆柱形套筒，所述圆柱形套筒可绕其中心轴自由旋转，每个所述圆柱形套筒包括旋转钮、中空筒体和卡舌，其中，所述旋转钮固定在所述中空筒体的顶端侧面，所述卡舌设置在所述中空筒体的底端侧面，每个所述卡舌具有设定厚度，且相邻圆柱形套筒的卡舌在沿中心轴的方向上依次抵触。本实用新型提供的技术方案，通过多个依次套设的包括旋转钮、中空筒体和卡舌的圆柱形套筒，绕套筒的中心轴旋转中空筒体的旋转钮，以及插入空隙的卡舌，测量掩膜板和靶材背板之间的空隙尺寸，避免异常放电现象。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 空隙 尺寸 工具 | ||
【主权项】：
一种空隙尺寸量测工具，其特征在于，包括多个依次套设的圆柱形套筒，所述圆柱形套筒可绕其中心轴自由旋转，每个所述圆柱形套筒包括旋转钮、中空筒体和卡舌，其中，所述旋转钮固定在所述中空筒体的顶端侧面，所述卡舌设置在所述中空筒体的底端侧面，每个所述卡舌具有设定厚度，且相邻圆柱形套筒的卡舌在沿中心轴的方向上依次抵触。
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