[实用新型]电容式湿度传感器有效
| 申请号： | 201520968536.2 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN205280640U | 公开（公告）日： | 2016-06-01 |
| 发明（设计）人： | 张绍达;陈宇龙;邓杨;李晓辉 | 申请（专利权）人： | 深圳市美思先端电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市前海深港合作区前*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型具体公开一种电容式湿度传感器，包括至少一个第一传感部件、第二传感部件、第三传感部件及衬底，所述传感部件相离固设于衬底表面；第一传感部件包括加热电极层、绝缘层、第一电极层、湿敏层及第二电极层；第一传感部件的加热电极层叠设于衬底表面，绝缘层叠设在加热电极层外表面，并延伸至衬底表面上；第一电极层、湿敏层及第二电极层按衬底至绝缘层方向依次叠设在绝缘层外表面；第二电极层表面设有与湿敏层相通的通孔；相对于第一传感部件，第二、第三传感部件不包括加热电极层，且第三传感部件的第二电极层表面无通孔。本实用新型结构简单，各个层间接触牢固、不易发生接触不良或脱落，能降低电极寄生电阻，提升传感器低温性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
一种电容式湿度传感器，其特征在于：包括至少一个第一传感部件、第二传感部件、第三传感部件及衬底，所述传感部件均相离固设于所述衬底的相同表面；其中，所述第一传感部件包括具有几何形状的加热电极层、绝缘层、第一电极层、湿敏层及第二电极层；所述第一传感部件的所述加热电极层叠设于所述衬底表面，所述绝缘层叠设在所述加热电极层外表面，并延伸至所述衬底表面上；所述第一电极层、湿敏层及第二电极层按所述衬底至所述绝缘层方向依次叠设在所述绝缘层外表面；所述第二电极层表面设有与所述湿敏层相通的通孔；相对于所述第一传感部件，所述第二、第三传感部件不包括所述加热电极层，且所述第三传感部件的所述第二电极层表面无通孔；其中，所述几何形状为脉冲波形或锯齿形或波浪线形。
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