[实用新型]用于靶材加工的水冷管有效
| 申请号： | 201520969665.3 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN205183102U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 吴小宝 | 申请（专利权）人： | 广州市尤特新材料有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/00 | 分类号： | B05D3/00 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 胡辉 |
| 地址： | 510880 广东省广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了用于靶材加工的水冷管，其包括与靶材基管接触的柱状管本体，所述管本体的两端分别连接有第一安装管和第二安装管，所述第一安装管和第二安装管内部分别设置有第一水道和第二水道，所述管本体内部设置有水冷道，所述水冷道贯穿管本体的两个端面，所述水冷道的两端分别和第一水道和第二水道连通。通过将需要热喷涂的靶材基管套在管本体上，再装于喷涂架上，第一安装管和第二安装管分别接上循环冷却水，通过冷却水迅速带走靶材制程中高能高温等离子粒子流的热量，避免热量带来的负面影响。本实用新型适用于靶材加工的水冷中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 加工 水冷 | ||
【主权项】：
用于靶材加工的水冷管，其特征在于：其包括与靶材基管接触的柱状管本体，所述管本体的两端分别连接有第一安装管和第二安装管，所述第一安装管和第二安装管内部分别设置有第一水道和第二水道，所述管本体内部设置有水冷道，所述水冷道贯穿管本体的两个端面，所述水冷道的两端分别和第一水道和第二水道连通。
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