[实用新型]一种真空蒸镀装置用测温机构有效

专利信息
申请号: 201520970724.9 申请日: 2015-11-28
公开(公告)号: CN205152326U 公开(公告)日: 2016-04-13
发明(设计)人: 何飞;刘林涛;卢伟;乔江江;张勇;吕海兵 申请(专利权)人: 西北有色金属研究院
主分类号: C23C14/54 分类号: C23C14/54;C23C14/24
代理公司: 西安创知专利事务所 61213 代理人: 谭文琰
地址: 710016*** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 实用新型公开了一种真空蒸镀装置用测温机构,包括热电偶、电滑环、温度仪表、第一插接件和第二插接件,热电偶设置在真空蒸镀装置的水平旋转轴的一侧,电滑环设置在水平旋转轴的另一侧,水平旋转轴为空心轴,第一插接件和第二插接件分别安装在水平旋转轴的两端且用于连接热电偶与电滑环,第一插接件与第二插接件之间通过连接线连接,连接线位于水平旋转轴内,电滑环的外环导线与温度仪表连接且通过温度仪表显示所测温度,第一插接件上安装有保护罩,热电偶的测温头位于保护罩外。本实用新型结构简单、设计合理且使用操作方便,通过接触测量工件架的温度来得到工件温度,测量准确,解决了旋转工件的温度测量问题,稳定性高,实用价值高。
搜索关键词: 一种 真空 装置 测温 机构
【主权项】:
一种真空蒸镀装置用测温机构,其特征在于:包括热电偶(1)、电滑环(5)、温度仪表(6)、第一插接件(2)和第二插接件(10),所述热电偶(1)设置在真空蒸镀装置的水平旋转轴(3)的一侧,所述电滑环(5)设置在水平旋转轴(3)的另一侧,所述水平旋转轴(3)为空心轴,所述第一插接件(2)和第二插接件(10)分别安装在水平旋转轴(3)的两端且用于连接热电偶(1)与电滑环(5),所述第一插接件(2)与第二插接件(10)之间通过连接线(4)连接,所述连接线(4)位于水平旋转轴(3)内,所述电滑环(5)的外环导线与温度仪表(6)连接且通过温度仪表(6)显示所测温度,所述第一插接件(2)上安装有保护罩(11),所述热电偶(1)的测温头位于保护罩(11)外。
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