[实用新型]氢气传感器芯体有效
| 申请号： | 201520974857.3 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN205656159U | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 陈浩;谢贵久;陈伟;白庆星;龚星 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种氢气传感器芯体，氢气传感器芯体依次包括基片、由非晶碳构成的介质层和氢气敏感层；非晶碳成分简单，化学性质稳定，特别适合制备高稳定性、长寿命的电子器件。本实用新型的氢气传感器芯体所制备的MOS电容薄膜氢气传感器能够检测到的氢气浓度下限达10ppm，而且响应时间和脱氢时间小于25s。 | ||
| 搜索关键词： | 氢气 传感器 | ||
【主权项】：
一种氢气传感器芯体，依次包括基片、介质层和氢气敏感层，其特征在于，所述介质层为由非晶碳材料形成的介质层。
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