[实用新型]一种晶圆传送异常监测装置有效
| 申请号： | 201520976974.3 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN205140936U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 郭良奎 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 杨虹 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆传送异常监测装置，包括：光束传感器1、电源2、控制装置3；所述光束传感器1和电源2相连接；所述光束传感器1设置在传送轨道5下方；所述控制装置3与光束传感器1相连接；本实用新型可自动监测晶圆传送过程中晶圆掉落、偏离等异常现象，当晶圆传送出现异常该装置可报警，防止设备无法感知晶圆的异常会继续其他的动作，从而导致了掉落、偏离的晶圆受到运动部件的撞击而严重损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 传送 异常 监测 装置 | ||
【主权项】：
一种晶圆传送异常监测装置，包括:光束传感器（1）、电源（2）、控制模块（3）；所述光束传感器（1）和电源（2）相连接；所述光束传感器（1）设置在传送轨道（5）下方；所述控制装置（3）与光束传感器（1）相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
