[实用新型]一种用于铜线键合加工的保护气体监测系统有效
| 申请号： | 201520977401.2 | 申请日： | 2015-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN205375210U | 公开（公告）日： | 2016-07-06 |
| 发明（设计）人： | 邹波;李勇昌;邹锋;蒋振荣;朱金华 | 申请（专利权）人： | 桂林斯壮微电子有限责任公司 |
| 主分类号： | G05D11/13 | 分类号： | G05D11/13 |
| 代理公司： | 桂林市持衡专利商标事务所有限公司 45107 | 代理人： | 苏家达 |
| 地址： | 541004 广西壮族自*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于铜线键合加工的保护气体监测系统，包括混合罐、氢气储罐和氮气储罐，氢气储罐和氮气储罐均通过输送管与混合罐的入口连接，还包括DCS控制系统和氢气分析仪，在各输送管上依次设有压力传感器、调压阀、流量调节阀、流量传感器和流量计，所述压力传感器和流量传感器与DCS控制系统的信号输入端连接，调压阀、流量调节阀和流量计与DCS控制系统的信号输出端连接；所述氢气分析仪的采集端与混合罐连接、其输出端与DCS控制系统的信号输入端连接。本实用新型能准确地监控铜线键合时所需的氮氢保护气体的压力、流量及配比值，有效地提高产品的良品率，具有检测精确、控制响应速度快，反应灵敏的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 铜线 加工 保护 气体 监测 系统 | ||
【主权项】：
一种用于铜线键合加工的保护气体监测系统，包括混合罐(9)、氢气储罐(1)和氮气储罐(2)，氢气储罐(1)和氮气储罐(2)均通过输送管(3)与混合罐(9)的入口连接，混合罐(9)的出口连接有氮氢保护气输出管(14)，其特征在于：还包括DCS控制系统(11)和氢气分析仪(10)，在各输送管(3)上依次设有压力传感器(4)、调压阀(5)、流量调节阀(7)、流量传感器(8)和流量计(13)，所述压力传感器(4)和流量传感器(8)与DCS控制系统(11)的信号输入端连接，调压阀(5)、流量调节阀(7)及流量计(13)与DCS控制系统(11)的信号输出端连接；所述氢气分析仪(10)的采集端与混合罐(9)连接、其输出端与DCS控制系统(11)的信号输入端连接。
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