[实用新型]一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种能够使炉体内的温度保持在一个稳定的范围内的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉通过在进气管上设置气体加热装置，气体加热装置可以对进入炉体内的氩气进行加热，避免温度较低的氩气进入炉体内对炉体内的温度造成较大的影响，在多晶硅铸锭炉工作的过程中，可以保证炉体内的温度保持在一个稳定的范围内，避免对多晶硅锭的生长造成较大的影响，保证最后长成的硅锭质量达到较高的质量水平，另外，利用加热丝可以快速加热，而且气体加热空腔为圆柱形，因而，可以保证氩气有足够的加热时间，可以使得所有的氩气被加热到同样的温度，加热效果较好。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括具有夹层空间的炉体(1)，炉体(1)上设置有抽气孔(2)，所述炉体(1)内设置有下托保温板(3)与保温罩(4)，保温罩(4)放置在下托保温板(3)上，保温罩(4)与下托保温板(3)共同构成保温隔热笼，所述保温罩(4)上连接有能够使保温罩(4)上下移动的升降杆(5)，所述保温隔热笼内设置有坩埚(6)、坩埚护板(7)、石墨底板(8)、石墨盖板(9)、侧部加热器(10)、顶部加热器(11)、热交换平台(12)，所述石墨底板(8)放置在热交换平台(12)上，坩埚(6)放置在石墨底板(8)上，坩埚护板(7)设置在坩埚(6)外侧，侧部加热器(10)设置在坩埚护板(7)的外侧，石墨盖板(9)设置在坩埚(6)上方，顶部加热器(11)设置在石墨盖板(9)上方，所述热交换平台(12)通过石墨立柱(22)固定在炉体(1)底部，坩埚护板(7)的上端设置有尾气排放孔(13)，还包括进气管(14)，所述进气管(14)的一端与氩气源(15)相连，另一端依次穿过炉体(1)、保温罩(4)、顶部加热器(11)、石墨盖板(9)后伸入坩埚(6)内，其特征在于：所述进气管(14)上设置有气体加热装置(33)，所述气体加热装置(33)包括柱状基体(331)，所述柱状基体(331)内设置有圆柱形的气体加热空腔(332)，所述柱状基体(331)上设置有与气体加热空腔(332)连通的进气口与出气口，所述进气口与氩气源(15)连通，所述出气口与进气管(14)连通，所述柱状基体(331)的表面缠绕有加热丝(334)，所述加热丝(334)连接在电源(335)上。