[实用新型]一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置有效
| 申请号： | 201520979113.0 | 申请日： | 2015-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN205246559U | 公开（公告）日： | 2016-05-18 |
| 发明（设计）人： | 周梅华;虞慧娴;孙士文 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本专利公开了一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置，装置包括一框架，该框架由样品台、下底板、左侧挡板、顶盖、右侧挡板和中间隔板组成；所述顶盖与中间隔板上等间距分布若干螺孔，用于安装光源若干；所述框架顶盖上设置有若干电源开关，该开关位置与光源相互对应；所述样品台放置在下底板上，可自由移动；所述左侧挡板设有电源总开关，与顶盖上的电源开关和光源通过电线串并联。本专利通过使用可见光拍照技术，对碲锌镉晶片表面腐蚀坑缺陷分布进行观察和记录，可以快速获得整个晶片的缺陷分布形貌。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 碲锌镉 晶片 腐蚀 形貌 快速 成像 装置 | ||
【主权项】：
一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置，包括样品台(1)、下底板(2)、左侧挡板(3)、顶盖(4)、右侧挡板(5)、中间隔板(6)、光源(7)、电源开关(8)和电源总开关(9)，其特征在于：所述顶盖(4)与中间隔板(6)上等间距分布若干螺孔，用于安装光源(7)；所述顶盖(4)上设置有若干电源开关(8)，该开关位置与光源(7)相互对应；所述样品台(1)放置在下底板(2)上，可自由移动；所述左侧挡板(3)设有电源总开关(9)，与顶盖上的电源开关(8)和光源(7)通过电线并联。
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