[实用新型]一种显影装置有效
| 申请号： | 201520983468.7 | 申请日： | 2015-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN205139567U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 赵林玲;刘宸 | 申请（专利权）人： | 阜阳欣奕华材料科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 236000 安徽省阜阳市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体显示设备技术领域，公开了一种显影装置，包括：显影槽以及位于显影槽上方的喷嘴，还包括：位于显影槽内、用于固定基片的托盘，托盘和喷嘴可相对旋转、且旋转轴垂直于显影槽的槽底。本实用新型提供的显影装置，通过将托盘和喷嘴设置为可相对旋转的，可以提高基片各位置受到显影液冲洗的压力的均匀性，提高基片的显影均匀性，提高显影效果和基片的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种显影装置，包括：显影槽以及位于所述显影槽上方的喷嘴，其特征在于，还包括：位于所述显影槽内、用于固定基片的托盘，所述托盘和所述喷嘴可相对旋转、且旋转轴垂直于所述显影槽的槽底。
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