[实用新型]一种石墨舟有效
| 申请号： | 201520986158.0 | 申请日： | 2015-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN205177803U | 公开（公告）日： | 2016-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陆义;张忠文;张玉前;徐文俊;董朋;俞玉松 | 申请（专利权）人： | 通威太阳能（合肥）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种石墨舟，包括多个交错分布的石墨舟片，多个交错分布的石墨舟片通过多个石墨杆串接后且每个石墨杆的两端通过石墨螺母紧固，串接在石墨舟片顶端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有下部陶瓷管，串接在石墨舟片两端部的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有导电块；其中，上部陶瓷管的长度为10.7-10.9mm，下部陶瓷管的长度为10.9-11.1mm。本实用新型上部陶瓷管长度小，下部陶瓷管长度大，石墨舟片间的间距处于上小下大的格局，弥补了硅片厚薄不均的缺陷，使硅片镀膜时沉积速率一致，减少单边发红造成的色差，提高镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 石墨 | ||
【主权项】：
一种石墨舟，包括多个交错分布的石墨舟片，多个交错分布的石墨舟片通过多个石墨杆串接后且每个石墨杆的两端通过石墨螺母紧固，串接在石墨舟片顶端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有上部陶瓷管，串接在石墨舟片底端的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有下部陶瓷管，串接在石墨舟片两端部的石墨杆上且位于石墨舟片间套装有导电块，其特征在于：所述的上部陶瓷管的长度为10.7—10.9mm，所述的下部陶瓷管的长度为10.9—11.1mm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
