[实用新型]一种链式传输装置

摘要

本实用新型公开了一种链式传输装置，包括上传输机构和下传输机构，所述上传输机构包括复数条平行设置的滚轮链，每条滚轮链包括滚轮轴以及套设于滚轮轴上的复数个滚轮，所述滚轮滑动连接于滚轮轴上，各个滚轮的两侧固定设有挡板。本实用新型将上传输机构中的滚轮滑动连接于滚轮轴上，即滚轮相对于滚轮轴是可以自由转动的，从而大大减少了上传输机构中的滚轮对硅片的滑动摩擦，避免了滚轮印脏污问题。

主权项

一种链式传输装置，包括上传输机构(1)和下传输机构(2)，所述下传输机构包括复数条平行设置的滚轮链，每条滚轮链包括滚轮轴以及套设于滚轮轴上的复数个滚轮，所述滚轮轴和滚轮固定连接；其特征在于：所述上传输机构包括复数条平行设置的滚轮链(3)，每条滚轮链包括滚轮轴(4)以及套设于滚轮轴上的复数个滚轮(5)，所述滚轮滑动连接于滚轮轴上，各个滚轮的两侧固定设有挡板(6)，滚轮与相邻挡板之间的间距为0.5~1.5 cm，相邻2个滚轮的外侧的挡板之间的间距≤12cm，相邻2个滚轮的内侧的挡板之间的间距≥3cm。