[实用新型]一种扫描电镜有效
| 申请号： | 201520988177.7 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN205209995U | 公开（公告）日： | 2016-05-04 |
| 发明（设计）人： | 崔耀晨;张玉祥 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/225 | 分类号： | G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜，包括：系统舱，与所述系统舱密封连接的气闸，所述气闸内设有用于承载测试样品的载台，所述气闸内设有溅射靶，所述溅射靶朝向所述载台，所述溅射靶与所述载台之间不贴合。正是由于本实用新型中的扫描电镜在其气闸内设有溅射靶，由于扫描电镜和离子溅射仪均工作在真空环境，那么，只需在扫描电镜的气闸内进行抽真空，从而达到溅射靶可工作的真空环境，完成离子溅射过程，并在此基础上，调整气闸的真空度，使得真空度达到扫描电镜的真空环境，可见，通过该溅射靶，可直接在气闸内完成离子溅射的过程，并且，可以在扫描电镜的气闸内完成抽真空操作，有效提升了测试的便捷性及效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 | ||
【主权项】：
一种扫描电镜，包括：系统舱，与所述系统舱密封连接的气闸，所述气闸内设有用于承载测试样品的载台，其特征在于，所述气闸内设有溅射靶，所述溅射靶朝向所述载台，所述溅射靶与所述载台之间不贴合。
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