[实用新型]一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发电极有效
| 申请号： | 201520988206.X | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN205188417U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 赵培;何清 | 申请（专利权）人： | 苏州奥夫特光学技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 刘洪勋 |
| 地址： | 215153 江苏省苏州市高新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发电极，包括电极棒，所述电极棒的一端穿过并挂设在安装板上，所述电极棒的轴心处开设有一圆孔，所述圆孔内安装有进水管道，所述进水管道的直径小于圆孔的直径，且进水管道的长度大于圆孔的深度，三通管的一端套装在与圆孔同侧的所述电极棒的一端上，所述进水管道的进水口延伸至三通管的另一端处，与进水装置相连通，所述三通管的第三端与圆孔相连通布置。本实用新型通过在电极棒上开设圆孔，并在圆孔内安装进水管道使电极棒在工作时能从内向外降低电极棒自身的温度，从而使电极棒工作的时间延长，致使工作效率提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 滤光 真空 设备 蒸发 电极 | ||
【主权项】：
一种用于滤光片真空蒸镀设备的蒸发电极，其特征在于：包括电极棒(1)，所述电极棒(1)的一端穿过并挂设在安装板(2)上，所述电极棒(1)的轴心处开设有一圆孔(3)，所述圆孔(3)内安装有进水管道(4)，所述进水管道(4)的直径小于圆孔(3)的直径，且进水管道(4)的长度大于圆孔(3)的深度，三通管(5)的一端套装在与圆孔(3)同侧的所述电极棒(1)的一端上，所述进水管道(4)的进水口延伸至三通管(5)的另一端处，与进水装置相连通，所述三通管(5)的第三端与圆孔(3)相连通布置。
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