[实用新型]含氮化硅硅料的处理系统有效
申请号: | 201520992626.5 | 申请日: | 2015-12-04 |
公开(公告)号: | CN205275782U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 吴亚军 | 申请(专利权)人: | 海润光伏科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 江阴市同盛专利事务所(普通合伙) 32210 | 代理人: | 唐纫兰;申萍 |
地址: | 214406 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及的一种含氮化硅硅料的处理系统,其特征在于它包括从左至右依次包括第一碱洗装置(1)、第一酸洗装置(2)、第二碱洗装置(3)、第二酸洗装置(4)、第三酸洗装置(5)、水洗装置(6)、超声装置(7)以及烘干装置(8)。本实用新型含氮化硅硅料的处理系统具有可以对铸锭边皮切割小料及顶条料进行表面吸附的氮化硅及其他氧化杂质进行有效去除的优点。 | ||
搜索关键词: | 氮化 硅硅料 处理 系统 | ||
【主权项】:
一种含氮化硅硅料的处理系统,其特征在于它包括从左至右依次包括第一碱洗装置(1)、第一酸洗装置(2)、第二碱洗装置(3)、第二酸洗装置(4)、第三酸洗装置(5)、水洗装置(6)、超声装置(7)以及烘干装置(8)。
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