[实用新型]一种硅片插片全自动清洗装置有效
| 申请号： | 201520998633.6 | 申请日： | 2015-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN205253632U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;张学强;郑全午;李伦;周晓英 | 申请（专利权）人： | 天津中环半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/04 | 分类号： | B08B3/04;B08B13/00;F26B21/00 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 胡京生 |
| 地址： | 300384 *** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片插片全自动清洗装置，包括插片机、清洗机上料装置、清洗机、烘干机、分选机、片篮回流线，插片机、清洗机上料装置、清洗机、烘干机、分选机依次放置，用螺栓相互固定在一起，清洗机上料装置取料机构与插片机的插片台衔接，清洗机上料区伸进清洗机上料装置内与清洗机上料装置的出料导轨衔接，清洗机的最后清洗槽与烘干机入料口相接，烘干机出口与分选机前端的输送线相连，片篮回流线从分选机出料口经过清洗机上料装置至插片机止，固定在清洗装置一侧，有益效果是，自动化水平高、提高了工作效率、节约了人力，各设备之间独立控制，提高了整机运行可靠性、便于设备维护。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 全自动 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片插片全自动清洗装置，包括插片机（1）、清洗机上料装置（2）、清洗机（3）、烘干机（4）、分选机（5）、片篮回流线（6），其特征在于：插片机（1）、清洗机上料装置（2）、清洗机（3）、烘干机（4）、分选机（5）依次放置，用螺栓相互固定在一起，清洗机上料装置（2）取料机构与插片机（1）的插片台衔接，清洗机（3）上料区伸进清洗机上料装置（2）内与清洗机上料装置（2）的出料导轨衔接，清洗机（3）的最后清洗槽与烘干机（4）入料口相接，烘干机（4）出口与分选机（5）前端的输送线相连，片篮回流线（6）从分选机（5）出料口经过清洗机上料装置（2）至插片机（1）止，固定在清洗装置一侧，所述的插片机（1）包括一级传送带、硅片分离装置、二级传送带、插片台，清洗机上料装置（2）包括取料机构、移转机构、出料机构，清洗机（3）包括机架、槽体、机械手、加热系统、排风系统、电控单元、水路系统及气路系统，烘干机（4）包括干燥箱体、输送链条、耐热风机、循环过滤系统、自动温控加热系统、红外线加热及控制系统、设备底座、电器控制柜，分选机（5）包括上料装置、检测装置、分选装置。
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