[实用新型]双层ITO膜双面红外老化设备有效
申请号: | 201520999027.6 | 申请日: | 2015-12-04 |
公开(公告)号: | CN205449638U | 公开(公告)日: | 2016-08-10 |
发明(设计)人: | 于佩强;王志坚;曹应刚;陈超;吕敬波 | 申请(专利权)人: | 江苏日久光电股份有限公司 |
主分类号: | G01N1/44 | 分类号: | G01N1/44 |
代理公司: | 北京市科名专利代理事务所(特殊普通合伙) 11468 | 代理人: | 郭杨 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种双层ITO膜双面红外老化设备,其特征在于包括气浮式红外烘箱和带动双层ITO膜通过所述气浮式红外烘箱的输送装置,所述气浮式红外烘箱包括箱体,所述箱体内设有上、下两层风嘴,所述上、下两层风嘴相向鼓风以浮托所述双层ITO膜,箱体内还设有上、下两层红外加热装置,分别加热所述双层ITO膜的两面。本实用新型能够实现双层ITO膜的双面均匀老化结晶,保证方阻均一性,提高老化结晶的效率。 | ||
搜索关键词: | 双层 ito 双面 红外 老化 设备 | ||
【主权项】:
一种双层ITO膜双面红外老化设备,其特征在于包括气浮式红外烘箱(1)和带动双层ITO膜(6)通过所述气浮式红外烘箱(1)的输送装置,所述气浮式红外烘箱(1)包括箱体,所述箱体内设有上、下两层风嘴(2),所述上、下两层风嘴(2)相向鼓风以浮托所述双层ITO膜(6),箱体内还设有上、下两层红外加热装置(3),分别加热所述双层ITO膜(6)的两面。
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