[实用新型]一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵

摘要

一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵，在牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构，其包括环向凸台及环向凹槽，环向凸台与环向凹槽彼此正对设置，且环向凸台和环向凹槽的轴向中心线与驱动主轴的轴向中心线相重合；当牵引转子为光筒、定子内开设螺旋槽时，环向凸台设置在牵引转子上，环向凹槽设置在定子上；当定子为光筒、牵引转子上开设螺旋槽时，环向凸台设置在定子上，环向凹槽设置在牵引转子上；防气体返流结构设置在复合分子泵的粘滞流态处、分子流态与粘滞流态之间的过渡流态处或在上述两种流态处同时设置；在轴向方向上，环向凸台的宽度小于环向凹槽的宽度；环向凸台与环向凹槽之间间距为牵引转子与定子之间间距的1～5倍。

主权项

一种能够减少牵引级间隙返流的复合分子泵，包括涡轮级、筒式牵引级和驱动主轴，所述涡轮级包括静叶片和动叶轮，所述筒式牵引级包括牵引转子和定子，所述动叶轮及牵引转子固定套装在驱动主轴上，其特征在于：在所述牵引转子和定子之间设置有防气体返流结构。