[实用新型]熔融机水冷熔融室有效
| 申请号： | 201521011389.6 | 申请日： | 2015-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN205347200U | 公开（公告）日： | 2016-06-29 |
| 发明（设计）人： | 夏孝平;贺贤汉 | 申请（专利权）人： | 上海汉虹精密机械有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00 |
| 代理公司： | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人： | 陈淑章 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种熔融机水冷熔融室，包括：框架、设置于框架上的平台结构、四周隔热板、上部隔热板、后隔热板和模具进出开闭机构，其中：四周隔热板设置于平台结构的四周，上部隔热板设置于四周隔热板的上部，本实用新型将熔融机与熔融室分离设计，并且增加了熔融室的冷却，降低了熔融室温度，减少金属或其他物质对石英坩埚的纯度影响，从而提高的产品的品质，也为后道工序生产更高精度的半导体晶棒提供好的条件。 | ||
| 搜索关键词： | 熔融 水冷 | ||
【主权项】：
一种熔融机水冷熔融室，其特征在于，包括：框架、设置于框架上的平台结构、四周隔热板、上部隔热板、后隔热板和模具进出开闭机构，其中：四周隔热板设置于平台结构的四周，上部隔热板设置于四周隔热板的上部，后隔热板设置于熔融室后部，模具进出开闭机构设置于熔融室底部。
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