[实用新型]一种大直径单晶炉

摘要

本实用新型公开了一种大直径单晶炉，属于单晶炉的制造领域。本实用新型包括副室、炉筒、晶体提升机构和底座，自动旋转机构包括立轴、副室旋转轴、轴套和电机，立轴位于侧开式副室的一侧，副室旋转轴通过连接件与侧开式副室固连；电机的输出轴与电机齿轮固连，副室旋转轴的上端固连传导齿轮；传导齿轮下表面固连有光电感应块一，传导齿轮下方的轴套上表面固连有光电限位开关一和光电限位开关二；炉筒位于侧开式副室的下方且炉筒内部与侧开式副室内部相连通，侧开式副室下部设有隔离阀，晶体提升机构安装于侧开式副室的上方；炉筒和立轴均设置于底座上。本实用新型主要解决了人力推动副室进行旋转时容易带来掉棒风险的问题。

主权项

一种大直径单晶炉，其特征在于：包括副室、炉筒(3)、晶体提升机构(5)和底座(6)，所述副室包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室(2)；所述侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副室主体(2‑1)和门板(2‑2)，所述副室主体(2‑1)一侧面上设有开口，所述门板(2‑2)通过铰链(2‑3)转动连接在副室主体(2‑1)上，门板(2‑2)与副室主体(2‑1)侧面上的开口相配合；所述自动旋转机构包括立轴(2‑5)、副室旋转轴(2‑7)、轴套(2‑8)和电机(2‑9)，所述立轴(2‑5)位于侧开式副室(2)的一侧，所述副室旋转轴(2‑7)通过连接件与侧开式副室(2)固连，副室旋转轴(2‑7)穿过轴套(2‑8)，轴套(2‑8)与立轴(2‑5)固连；所述电机(2‑9)的输出轴与电机齿轮(2‑4)固连，副室旋转轴(2‑7)的上端固连传导齿轮(2‑12)，所述电机齿轮(2‑4)与传导齿轮(2‑12)啮合传功；所述传导齿轮(2‑12)下表面固连有光电感应块一(2‑11)，传导齿轮(2‑12)下方的轴套(2‑8)上表面固连有光电限位开关一(SQ1)和光电限位开关二(SQ2)；所述炉筒(3)位于侧开式副室(2)的下方且炉筒(3)内部与侧开式副室(2)内部相连通，侧开式副室(2)下部设有隔离阀(4)，所述晶体提升机构(5)安装于侧开式副室(2)的上方；所述炉筒(3)和立轴(2‑5)均设置于底座(6)上。