[实用新型]一种CZ直拉法大直径单晶炉的副室

摘要

本实用新型公开了一种CZ直拉法大直径单晶炉的副室，属于CZ直拉法大直径单晶炉的制造领域。本实用新型包括一体式结构的侧开式副室，该侧开式副室包括内部设有空腔的副室主体和门板，副室主体一侧面上设有开口，门板通过铰链转动连接在副室主体上，门板与副室主体侧面上的开口相配合；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈，该密封圈包括密封圈本体和弧形凸起，密封圈本体的横截面为中部设有通孔的矩形，密封圈本体的一侧面上设有弧形凸起；副室主体与门板相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈上的弧形凸起嵌入上述密封圈槽内。本实用新型主要解决了现有单晶炉副室因机械加工不足造成的密封漏气情况。

主权项

一种CZ直拉法大直径单晶炉的副室，其特征在于：包括一体式结构的侧开式副室(2)，该侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副室主体(2‑1)和门板(2‑2)，所述副室主体(2‑1)一侧面上设有开口，所述门板(2‑2)通过铰链(2‑3)转动连接在副室主体(2‑1)上，门板(2‑2)与副室主体(2‑1)侧面上的开口相配合；所述副室主体(2‑1)与门板(2‑2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈(2‑4)，该密封圈(2‑4)包括密封圈本体(2‑4‑2)和弧形凸起(2‑4‑1)，密封圈本体(2‑4‑2)的横截面为中部设有通孔的矩形，密封圈本体(2‑4‑2)的一侧面上设有弧形凸起(2‑4‑1)；副室主体(2‑1)与门板(2‑2)相配合的侧面开口上设有一圈密封圈槽，密封圈(2‑4)上的弧形凸起(2‑4‑1)嵌入上述密封圈槽内。