[实用新型]一种带自动旋转机构的单晶炉副室有效
| 申请号： | 201521011486.5 | 申请日： | 2015-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN205152391U | 公开（公告）日： | 2016-04-13 |
| 发明（设计）人： | 马四海;刘长清;张笑天;马青;丁磊;芮彪;朱光开;张静;张良贵;向贤平 | 申请（专利权）人： | 安徽华芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种带自动旋转机构的单晶炉副室，属于单晶炉的制造领域。本实用新型的带自动旋转机构的单晶炉副室，包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室，自动旋转机构包括立轴、副室旋转轴、轴套和电机，立轴位于侧开式副室的一侧，副室旋转轴通过连接件与侧开式副室固连，副室旋转轴穿过轴套，轴套与立轴固连；电机的输出轴与电机齿轮固连，副室旋转轴的上端固连传导齿轮，电机齿轮与传导齿轮啮合传功；传导齿轮下表面固连有光电感应块一，传导齿轮下方的轴套上表面固连有光电限位开关一和光电限位开关二。本实用新型主要解决了人力推动副室进行旋转时容易带来掉棒风险的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 旋转 机构 单晶炉副室 | ||
【主权项】：
一种带自动旋转机构的单晶炉副室，其特征在于：包括自动旋转机构和一体式结构的侧开式副室(2)，该侧开式副室(2)包括内部设有空腔的副室主体(2‑1)和门板(2‑2)，所述副室主体(2‑1)一侧面上设有开口，所述门板(2‑2)通过铰链(2‑3)转动连接在副室主体(2‑1)上，门板(2‑2)与副室主体(2‑1)侧面上的开口相配合；所述自动旋转机构包括立轴(2‑5)、副室旋转轴(2‑7)、轴套(2‑8)和电机(2‑9)，所述立轴(2‑5)位于侧开式副室(2)的一侧，所述副室旋转轴(2‑7)通过连接件与侧开式副室(2)固连，副室旋转轴(2‑7)穿过轴套(2‑8)，轴套(2‑8)与立轴(2‑5)固连；所述电机(2‑9)的输出轴与电机齿轮(2‑4)固连，副室旋转轴(2‑7)的上端固连传导齿轮(2‑12)，所述电机齿轮(2‑4)与传导齿轮(2‑12)啮合传功；所述传导齿轮(2‑12)下表面固连有光电感应块一(2‑11)，传导齿轮(2‑12)下方的轴套(2‑8)上表面固连有光电限位开关一(SQ1)和光电限位开关二(SQ2)。
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