[实用新型]单晶炉短加热器有效
申请号: | 201521013599.9 | 申请日: | 2015-12-08 |
公开(公告)号: | CN205420598U | 公开(公告)日: | 2016-08-03 |
发明(设计)人: | 黄末;贺贤汉;小暮康弘 | 申请(专利权)人: | 上海申和热磁电子有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14 |
代理公司: | 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 | 代理人: | 陈淑章 |
地址: | 200444 上海市宝*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了单晶炉短加热器,包括加热器本体,支撑,所述加热器本体的高度为0.7~0.9H,H为原加热器的高度,H=(1.6~1.8)h,石英坩埚高为h,所述加热器本体上部设有凹槽,所述凹槽处加热器的壁厚为0.5~0.7d,d为原加热器的壁厚。本实用新型通过缩短加热器加热部分长度,减少部分位置的厚度优化加热器结构后,可改善熔体中的温度分布,从而减少了石英坩埚导入到熔体中的氧含量,使得拉制晶棒的氧含量处于更安全稳定的水平;降低单晶硅棒中氧含量的浓度;通过使用重新设计的加热器生产单晶硅棒以达到降低氧含量浓度的目的。 | ||
搜索关键词: | 单晶炉短 加热器 | ||
【主权项】:
单晶炉短加热器,其特征在于,所述单晶炉短加热器包括加热器本体(1),支撑(2),所述加热器本体(1)的高度为0.7~0.9H,H为原加热器的高度,H=(1.6~1.8)h,石英坩埚高为h,所述加热器本体(1)上部设有凹槽(3),所述凹槽(3)处加热器的壁厚为0.5~0.7d,d为原加热器的壁厚。
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