[实用新型]一种氢氟酸蒸汽刻蚀硅反应装置有效
| 申请号： | 201521014000.3 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN205329160U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 彭奎庆;胡雅 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型发明涉及一种便于控制的氢氟酸蒸汽刻蚀硅反应装置。该装置包括一个充气装置、一个氢氟酸储液瓶、一个腐蚀反应腔室以及一个尾气处理与收集装置。充气装置泵入的气体为空气或氧气。储液瓶和腐蚀反应腔室连接有一根导气管，导气管设有气体流速调节阀。腐蚀反应腔室和尾气处理与收集装置连接有一根导气管，导气管设有气体流速调节阀。本实用新型的有益效果是通过向氢氟酸储藏箱里面冲入氧气或空气将氢氟酸蒸汽带入腐蚀反应腔室，可以大幅度减少氢氟酸用量；通过气体流速调节阀与腐蚀反应腔室温度，可控制硅腐蚀速度。本反应操作简单，适合规模化刻蚀硅微纳米结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氢氟酸 蒸汽 刻蚀 反应 装置 | ||
【主权项】：
一种氢氟酸蒸汽刻蚀硅反应装置，其特征在于，它包括充气装置(1)、氢氟酸储液瓶(2)、腐蚀反应腔室(3)和尾气处理与收集装置(4)；充气装置(1)与氢氟酸储液瓶(2)通过导气管(5)连接，导气管(5)设有气体流量调节阀(6)；充气装置(1)与腐蚀反应腔室(3)通过导气管(7)连接，导气管(7)设有气体流量调节阀(8)；氢氟酸储液瓶(2)与腐蚀反应腔室(3)通过导气管(9)连接，导气管(9)设有气体流量调节阀(10)；腐蚀反应腔室(3)和尾气处理与收集装置(4)通过导气管(11)连接，导气管(11)设有气体流量调节阀(12)；促进氢氟酸溶液蒸发的加热装置(13)位于氢氟酸储液瓶(2)下面。
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