[实用新型]石英埚盖有效
| 申请号： | 201521016983.4 | 申请日： | 2015-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN205258653U | 公开（公告）日： | 2016-05-25 |
| 发明（设计）人： | 宋都明;孙毅;王林;张颂越 | 申请（专利权）人： | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人： | 王凤英 |
| 地址： | 300384 天津市西青*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于直拉单晶硅的石英埚的石英埚盖。石英埚盖上设有用于单晶硅生长的中心孔，石英埚盖的下沿内表面与石英埚上端外表面紧密配合。通过对石英埚头部增加石英埚盖，可以有效的减少AR（氩气）进入石英埚内的含量，从而减少液面SiO的挥发速度，增加单晶硅的氧含量。常规采用没有石英埚盖制备单晶硅的氧含量为9-11E16atm/cm3,而增加本石英埚盖后，制备单晶硅的氧含量为15-17E16 atm/cm3。 | ||
| 搜索关键词： | 石英 | ||
【主权项】：
一种石英埚盖，其特征在于：所述的石英埚盖（1）上设有用于单晶硅生长的中心孔（1‑1），石英埚盖（1）的下沿（1‑2）内表面与石英埚（2）上端外表面紧密配合。
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