[实用新型]用于等离子体产生的电源装置

摘要

本实用新型涉及纳秒级高压脉冲功率电源，应用于VOC治理及相关环保领域，具体技术方案为：一种用于等离子体产生的电源装置，包括三相输入调压装置、三相整流变压器、脉冲发生电路、脉冲升压电路、磁脉冲压缩装置、取样电路、散热系统、脉冲电源DSP控制器。采用大功率脉冲技术和磁压缩技术，三相整流电路产生直流母线电压，经脉冲发生装置产生微秒级低压脉冲，经脉冲升压器升压为微秒级高压脉冲，再由脉冲压缩装置压缩为纳秒级高压脉冲，实现陡化脉冲前沿、缩窄脉冲宽度、提高重复频率的目的，达到了VOC治理的要求，与其他形式电源相比，降低能耗的同时提高了电能利用率和等离子体产生的效率。

主权项

一种用于等离子体产生的电源装置，其特征在于，包括：用于调节输入的三相交流电压从而调节脉冲母线电压的三相输入调压装置（2），三相输入调压装置与外部的三相电源相连；用于将可调三相交流电升压并整流、产生直流母线电压的三相整流变压器（3）；用于将直流电转化为微秒级低压脉冲的脉冲发生电路（4）；用于将微秒级低压脉冲升压为微秒级高压脉冲的脉冲升压电路（5）；用于将微秒级高压脉冲压缩为纳秒级高压脉冲的磁脉冲压缩装置（6）；用于采集输出端的脉冲电压、电流信号并反馈给脉冲电源DSP控制器的取样电路（7）；用于控制脉冲电源参数的脉冲电源DSP控制器（10）。