[实用新型]一种光学三维成像装置有效
申请号: | 201521030458.8 | 申请日: | 2015-12-10 |
公开(公告)号: | CN205192445U | 公开(公告)日: | 2016-04-27 |
发明(设计)人: | 周向前;瞿鑫 | 申请(专利权)人: | 常州雷欧仪器有限公司 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;尚群 |
地址: | 213000 江苏省常州市武进高新技术*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种光学三维成像装置,该光学三维成像装置包括:光学显微镜系统,用于生成待测物体的显微光路并获得所述待测物体的平面坐标信号;三维表面成像模块,与所述光学显微镜系统连接,用于生成干涉光路并通过一次扫描探测得到所述待测物体整个视场内每个像素点的高度坐标信号,并将所述平面坐标信号和所述高度坐标信号经计算处理后直接生成并输出待测物体的三维图像,以实现快速三维表面成像;以及驱动机构,与所述待测物体或所述三维表面成像模块连接,用于实现对所述待测物体沿光轴方向的扫描。 | ||
搜索关键词: | 一种 光学 三维 成像 装置 | ||
【主权项】:
一种光学三维成像装置,其特征在于,包括:光学显微镜系统,用于生成待测物体的显微光路并获得所述待测物体的平面坐标信号;三维表面成像模块,与所述光学显微镜系统连接,用于生成干涉光路并通过一次扫描探测得到所述待测物体整个视场内每个像素点的高度坐标信号,并将所述平面坐标信号和所述高度坐标信号经计算处理后直接生成并输出待测物体的三维图像,以实现快速三维表面成像;以及驱动机构,与所述待测物体或所述三维表面成像模块连接,用于实现对所述待测物体沿光轴方向的扫描。
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