[实用新型]基板涂布装置有效

专利信息
申请号: 201521034371.8 申请日: 2015-12-14
公开(公告)号: CN205518423U 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 赵康一 申请(专利权)人: K.C.科技股份有限公司
主分类号: B05C5/00 分类号: B05C5/00;B05C11/02
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 韩明星;孙昌浩
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 韩国;KR
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摘要: 实用新型公开一种基板涂布装置。根据本实用新型的基板涂布装置,包括:狭缝形状的狭缝喷嘴,排出待涂布到基板上的药液;以及负压模块,以涂布进行方向为基准,位于所述狭缝喷嘴的肋前方,并且在所述狭缝喷嘴的喷出口前方形成负压空间。负压模块通过在所述狭缝喷嘴的喷出口前方形成负压空间,向前方牵拉从狭缝喷嘴的喷出口排出的药液,从而在喷出口下方形成半月形状而使涂布顺利地进行。负压模块包括:吸入部,形成上方封闭并且下方向着所述负压空间开放的内部空间部;以及吸入泵,连接于形成在所述吸入部的上方的排出口。吸入部通过吸入所述负压空间的空气来形成负压。
搜索关键词: 基板涂布 装置
【主权项】:
一种基板涂布装置,其特征在于,包括:狭缝形状的狭缝喷嘴,排出待涂布到基板上的药液;以及负压模块,以涂布进行方向为基准,位于所述狭缝喷嘴的肋的前方,并且在所述狭缝喷嘴的喷出口前方形成负压空间,所述肋形成有所述喷出口,通过所述喷出口排出药液。
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