[实用新型]一种RF射频功率源有效
| 申请号： | 201521034476.3 | 申请日： | 2015-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN205196065U | 公开（公告）日： | 2016-04-27 |
| 发明（设计）人： | 李璐 | 申请（专利权）人： | 沈阳科诚真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种RF射频功率源，广泛地应用于科研、半导体工艺、真空镀膜、工业材料加工设备。本实用新型包括：机体、单片机、匹配器与射频源，所述机体侧面设有液晶显示屏，所述液晶显示屏旁设有参数设定按钮，所述单片机通过匹配器与射频源连接设于机体内部，所述射频源包括：有源石英晶体稳频、它激机与金属陶瓷四极管，所述金属陶瓷四极管为末级，所述有源石英晶体稳频、它激机均由单片机控制。本实用新型提出一种RF射频功率源，效率高，工作稳定可靠，匹配器与射频源功效溶为一体，提高了效率，缩小了体积，增加了美感。采用液晶显示屏与单片机应用控制，使本机提高了档次，是目前国内电子管射频源最先进的机型。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 rf 射频 功率 | ||
【主权项】：
一种RF射频功率源，其特征在于：包括：机体、单片机、匹配器与射频源，所述机体侧面设有液晶显示屏，所述液晶显示屏旁设有参数设定按钮，所述单片机通过匹配器与射频源连接设于机体内部，所述射频源包括：有源石英晶体稳频、它激机与金属陶瓷四极管，所述金属陶瓷四极管为末级，所述有源石英晶体稳频、它激机均由单片机控制。
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