[实用新型]硅片精密对准倒片花棒

摘要

本实用新型公开了硅片精密对准倒片花棒为圆柱体，两端设有卡口，所述圆柱体上设有槽口，所述槽口为环状凹槽。所述卡口为圆柱体凸台，设置于圆柱体的中心。所述槽口为等深环状凹槽，底部为等直径圆柱，两侧为互为镜像的斜坡。本实用新型的卡口与腐蚀笼上的卡槽配合，从圆柱体轴向上保证倒片过程中圆柱体与腐蚀笼在轴向上重合；通过槽口对应放置，保证倒片过程中硅片与圆柱体径向位于同一平面。均匀排放为实现自动化精密对准倒转硅片提供前提；对准倒片避免硅片倒转时硅片斜片。通过对硅片的定位与均匀排放，保证硅片腐蚀速率一致，均匀腐蚀；通过调整槽口的大小，牢固固定硅片，减少硅片的震动，保证稳定性，提高良品率。

主权项

硅片精密对准倒片花棒，其特征在于，所述硅片精密对准倒片花棒为圆柱体(1)，两端设有卡口(2)，所述圆柱体(1)上设有槽口(3)，所述槽口(3)为环状凹槽。