[实用新型]一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的装置

摘要

本实用新型涉及一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶装置，通过分隔板把炉膛沿竖直方向分割成多个相对独立的温区，每个温区独立加热、独立测温、独立控制，通过不同温区的温度控制或功率控制实现炉膛在竖直方向上呈现一定的温度梯度或功率梯度，在坩埚、发热体、晶体不动的情况下，通过对不同温区的温度控制及温场梯度的不断移动或加热功率控制及功率梯度的不断移动，满足晶体长晶界面不断移动所需要的温度梯度，通过多温区联动控温实现原料自动加热、自动接种和放肩、自动长晶，并实现长晶界面的模拟可图示化。本装置结构简单，方便实用。

主权项

 一种温场梯度竖直移动法制备片状单晶的装置，其特征在于：该装置包括坩埚（7）、籽晶吊杆（1）、多个发热体（3）、多个温区分隔板（4）、隔热屏（2）、炉膛保温层（9）和坩埚顶杆（10），所述炉膛保温层（9）顶端开口，隔热屏（2）与炉膛保温层（9）的顶端可拆卸连接且可形成封闭的空间，所述坩埚（7）呈扁平状，且竖直设置在隔热屏（2）与炉膛保温层（9）形成的封闭空间内，所述发热体（3）呈长条状，且与坩埚（7）长度方向平行的设置在坩埚（7）的两侧，发热体（3）端部固定设置在炉膛保温层（9）上，所述温区分隔板（4）呈环形，其环形外壁与炉膛保温层（9）内壁固定连接，环形内壁与坩埚（7）间隙配合，所述温区分隔板（4）间隔设置在多个发热体（3）之间，所述坩埚顶杆（10）的一端穿过炉膛保温层（9）设置在坩埚（7）的底部，所述籽晶吊杆（1）的一端穿过隔热屏（2）设置在坩埚（7）的顶部，且在籽晶吊杆（1）的此端可固定籽晶（5）。