[实用新型]太阳能硅片扩散用石英舟有效
| 申请号： | 201521039636.3 | 申请日： | 2015-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN205303486U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王鸳君;韩伟智;刘春丽;张红伟;胡香玲;郭天华 | 申请（专利权）人： | 杭州力云科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/673 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310053 浙江省杭州市滨江区江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种能够有效提高扩散均匀性，同时提高单炉产量的太阳能硅片扩散用石英舟，其包括两个支撑板和多个中空石英管，多个石英管在两个支撑板之间形成容置硅片的支架区，且至少一个支撑板上开有与各个石英管贯通的通孔；石英管上均布开有多个刻槽，硅片放置在石英管同一竖直平面的刻槽中；位于相邻刻槽之间或硅片之间开有至少一个散气孔，且其与中空石英管贯通。采用本实用新型的石英舟，扩散源由炉尾的进气口进入扩散炉后，经石英舟上的中空石英管，并从石英管上的散气孔均匀地喷向硅片之间的间隙，显著提高扩散均匀性的同时，也能够快速将扩散源从炉尾传输到炉口，还进一步增加传输距离，从而提高单炉扩散的产量、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能 硅片 扩散 石英 | ||
【主权项】：
一种太阳能硅片扩散用石英舟，其特征在于：包括两个支撑板(1)、和固定在两个支撑板(1)之间的多个中空石英管(2)，多个石英管(2)在两个支撑板(1)之间形成容置硅片的支架区(3)，且至少一个支撑板(1)上开有与各个石英管(2)贯通的通孔(6)；石英管(2)上均布开有多个刻槽(4)，硅片放置在石英管(2)同一竖直平面的刻槽(4)中；石英管(2)上，位于相邻刻槽(4)之间或硅片之间开有至少一个散气孔(5)，且散气孔(5)与中空石英管(2)贯通。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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