[实用新型]CCD曝光机冷凝废水排水结构有效

专利信息
申请号: 201521047235.2 申请日: 2015-12-15
公开(公告)号: CN205353572U 公开(公告)日: 2016-06-29
发明(设计)人: 李泽清 申请(专利权)人: 竞陆电子(昆山)有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 昆山四方专利事务所 32212 代理人: 盛建德;周雅卿
地址: 215300 江苏省苏州市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种CCD曝光机冷凝废水排水结构,每台CCD曝光机上设有用于排出冷凝废水的排放口,设有一根排水总管和若干排水支管,若干排水支管的数量与CCD曝光机的数量一致,每台CCD曝光机上的排放口皆连接有一根排水支管,所述排水支管的一端与CCD曝光机上的排放口连接且另一端与所述排水总管连接,所述排水总管的末端通入下水道,所述排水总管沿地面铺设。该CCD曝光机冷凝废水排水结构可以自动将冷凝废水排入下水道,不仅省去了人力,更是可以实现生产线连续生产,而且改善了无尘室环境。
搜索关键词: ccd 曝光 冷凝 废水 排水 结构
【主权项】:
一种CCD曝光机冷凝废水排水结构,每台CCD曝光机(1)上设有用于排出冷凝废水的排放口(11),其特征在于:设有一根排水总管(2)和若干排水支管(3),若干排水支管(3)的数量与CCD曝光机(1)的数量一致,每台CCD曝光机(1)上的排放口(11)皆连接有一根排水支管(3),所述排水支管(3)的一端与CCD曝光机(1)上的排放口(11)连接且另一端与所述排水总管(2)连接,所述排水总管的末端通入下水道,所述排水总管沿地面铺设。
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