[实用新型]一种内置遮挡防溅装置有机材料升华提纯机有效
申请号: | 201521056538.0 | 申请日: | 2015-12-17 |
公开(公告)号: | CN205569801U | 公开(公告)日: | 2016-09-14 |
发明(设计)人: | 李晓常;刘建祥;刘水兵 | 申请(专利权)人: | 江西冠能光电材料有限公司 |
主分类号: | B01D7/00 | 分类号: | B01D7/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 337099*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种内置遮挡防溅装置有机材料升华提纯机,其特征在于,所述的机材料升华提纯机包括石英舟、遮挡防溅装置、石英积料管等石英组件;加热炉、温控仪表等组成的加热系统;真空系统以及控制系统组成。所述的遮挡防溅装置,完全覆盖在石英舟上,所述的遮挡防溅装置和石英舟及沉积管紧密相联。本实用新型的有益效果是,在有机材料升华过程中,遮挡防溅装置可防止低沸点物料爆沸溅射入物料沉积管,及防止石英舟内的残渣随有机材料升华夹杂进入物料沉积管,可有效减少杂质污染,提高有机材料的升华品质和效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 内置 遮挡 装置 有机 材料 升华 提纯 | ||
【主权项】:
一种内置遮挡防溅装置有机材料升华提纯机,其特征在于,所述的有机材料升华提纯机包括石英舟、遮挡防溅装置、石英积料管组成的石英组件;加热炉、温控仪表组成的加热系统,真空系统以及控制系统组成;遮挡防溅装置为石英拼焊,周边由具有一定高度的石英板焊接,中间隔断部分为具有一定宽度倾斜30~45°角度的石英板焊接在周边石英板框架上,具体长、宽等于石英舟长、宽, 石英舟内放置有机材料,在升华过程中将遮挡防溅装置完全覆盖在石英舟上,遮挡防溅装置放置在石英舟上,有机材料升华必须通过遮挡防溅装置内的缝隙,同时石英舟与石英积料管相联,有机材料在升华过程中被遮挡防溅装置的石英板阻挡,有效防止了有机材料的飞溅以及杂质的交叉污染,提高了升华效率。
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