[实用新型]用于检查对象的系统有效

专利信息
申请号: 201521063543.4 申请日: 2015-12-18
公开(公告)号: CN205879177U 公开(公告)日: 2017-01-11
发明(设计)人: 申请(专利权)人:
主分类号: G01C11/00 分类号: G01C11/00
代理公司: 北京安信方达知识产权代理有限公司11262 代理人: 白云,王漪
地址: 215151 江苏省苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了用于检查对象的系统。检查对象的系统包括相机;照射模块,设为由跨三个不同入射角范围的第一、二、三光束来照射对象;物镜,设为(a)接收第一、二、三光束的反射及(b)向传感模块引导第一、二、三光束的反射;传感模块设为感测第一、二、三光束的反射;照射模块包括设为执行以下至少一个的调节模块:(A)引入第一、二、光束中两个以上光束的色差和偏振差中的至少一个;(B)促使第一光束只以下列之一的角范围照射对象(i)包括法向射角且至多与法向照射成预定角偏差的第一角域;(ii)围绕第一角域的第二角域;通过与第一光束部分重叠的第四光束照射对象,当射在对象上时,形成包括第一角域的重叠区域。
搜索关键词: 用于 检查 对象 系统
【主权项】:
一种检查对象的系统,所述系统包括:相机;照射模块,其配置为通过跨越三个不同的入射角范围的第一光束、第二光束和第三光束来照射所述对象;物镜,其配置为(a)接收所述第一光束的反射、所述第二光束的反射、和所述第三光束的反射,以及(b)引导所述第一光束的反射、所述第二光束的反射和所述第三光束的反射朝向传感模块;其中所述传感模块配置为感测所述第一光束的反射、所述第二光束的反射和所述第三光束的反射;其中所述照射模块包括调节模块。
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