[实用新型]蒸镀机的载台及蒸镀遮罩系统有效
| 申请号： | 201521070735.8 | 申请日： | 2015-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN205223337U | 公开（公告）日： | 2016-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王亚;王水俊;范波涛 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/04 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀机的载台，用于对遮挡基片的非蒸镀的部位的遮罩片进行限位，包括：载台基体；所述载台基体设有中心定位孔，用以对第一遮罩片限位；所述载台基体还设有自中心定位孔沿载台基体表面方向延展的扩展槽，用以对与第一遮罩片规格不同的第二遮罩片限位。在本实用新型提供的实施例中，载台基体设有的中心定位孔可以供专用的第一遮罩片的定位件插入，而与专用的第一遮罩片的定位件规格不同的其他第二遮罩片的定位件可以在扩展槽允许的范围内调整插入位置，从而，蒸镀机的载台可以加载不同的遮罩片进行生产，提高了载台对不同规格遮罩片的通用性。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸镀机 蒸镀遮罩 系统 | ||
【主权项】：
一种蒸镀机的载台，用于对遮挡非蒸镀区域的第一遮罩片、第二遮罩片进行限位，其特征在于，包括：载台基体；所述载台基体设有中心定位孔，用以对第一遮罩片限位；所述载台基体还设有自中心定位孔沿载台基体表面方向延展的扩展槽，用以对与第一遮罩片规格不同的第二遮罩片限位。
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