[实用新型]高纯氮气纯化装置

摘要

高纯氮气纯化装置，该装置由一级吸附罐和二级吸附罐串联而成，高纯氮气经液氮储罐气化后，经一级减压阀减压，经一级吸附罐底部氮气进口进入一级吸附罐，一级吸附罐顶部氮气出口与二级吸附罐底部的氮气进口相连，二级吸附罐顶部氮气出口与高纯氮气主管道相连。一级吸附罐和二级吸附罐内装填活性炭，用于吸附高纯氮气中的烷烃类、油类杂质。一级吸附罐和二级吸附罐上下各安装一块孔板和5块导流板，主要用于高纯氮气的均匀分布以及延长高纯氮气与活性炭的接触时间。二级吸附罐氮气出口处预留高纯氮气取样口，用于取样检测高纯氮气纯度及杂质含量。

主权项

高纯氮气纯化装置，该装置由一级吸附罐（7）和二级吸附罐（8）串联而成，高纯氮气自液氮储罐气化后，经一级减压阀（1）减压后，从一级吸附罐底部氮气进口（2）进入一级吸附罐（7），从一级吸附罐（7）顶部氮气出口（3），经二级吸附罐（8）底部的氮气进口（4）进入二级吸附罐（8），经二级吸附处理后的高纯氮气，从二级吸附罐顶部氮气出口（5）进入高纯氮气主管道，用作高纯试剂生产的辅料。