[实用新型]用于大型真空舱的射频Langmuir探针系统

摘要

本实用新型涉及一种用于大型真空舱的射频Langmuir探针系统，在采用Mike Hopkins探针杆结构的前提下，引入滤波电路保护腔体，通过密封管路将密封腔体与真空舱上的供气接头连通，并给腔体充入保护气体，使射频滤波电路被保护在常压环境下。将金属密封腔通过铜编织线接地，屏蔽了射频电磁干扰的同时解决了大型真空舱中探针测量位置缺乏导电地的问题。探针的探测信号经过射频滤波电路滤波后，通过屏蔽线将探测信号输入到射频Langmuir探针的信号处理单元中。本实用新型克服现有技术的不足之处，提供大型真空舱中的射频Langmuir探针结构，从而解决了由于真空环境体积过大，射频滤波电路难于接入的问题。

主权项

用于大型真空舱的射频Langmuir探针系统，包括依次连接的探针、射频滤波电路及探针信号处理系统，所述探针包括探针尖部和探针杆部，探针尖部位于真空舱中的被测等离子体区域中，探针杆部部分伸出被测等离子体区域，所述射频滤波电路连接在探针杆部的末端，其特征在于：所述射频滤波电路封装在金属密封腔内，所述金属密封腔位于真空舱内。