[实用新型]微流控芯片对准键合装置

摘要

本申请公开了一种微流控芯片对准键合装置，包括支撑组件、芯片定位调节组件和CCD观测组件，芯片定位调节组件包括XYθ精密移动平台、面光源、透明支撑板和Z轴移动平台，面光源支撑固定于XYθ精密移动平台上，透明支撑板安装于Z轴移动平台上，透明支撑板位于面光源的正上方并与面光源相对设置，面光源的上表面和透明支撑板的下表面分别用于安装微流控芯片，CCD观测组件包括安装于支撑组件上的两个相同的观测装置，每个观测装置分别包括一CCD摄像头和一XYZ轴精密移动平台，XYZ轴精密移动平台安装于支撑组件上，CCD摄像头固定于XYZ轴精密移动平台上并位于透明支撑板的上方。本实用新型微流控芯片对准键合装置解决了手动对准芯片的误差问题。

主权项

一种微流控芯片对准键合装置，其特征在于，包括支撑组件、芯片定位调节组件和CCD观测组件，所述芯片定位调节组件和CCD观测组件安装于所述支撑组件上，所述芯片定位调节组件包括XYθ精密移动平台、面光源、透明支撑板和Z轴移动平台，所述面光源支撑固定于所述XYθ精密移动平台上，所述透明支撑板安装于Z轴移动平台上，所述透明支撑板位于所述面光源的正上方并与所述面光源相对设置，所述面光源的上表面和透明支撑板的下表面分别用于安装微流控芯片，所述CCD观测组件包括安装于支撑组件上的两个相同的观测装置，每个观测装置分别包括一CCD摄像头和一XYZ轴精密移动平台，所述XYZ轴精密移动平台安装于所述支撑组件上，所述CCD摄像头固定于所述XYZ轴精密移动平台上并位于所述透明支撑板的上方。