[实用新型]酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置、系统

摘要

本实用新型属于蚀刻液处理技术领域，具体公开了一种酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置、系统。该装置包括电解槽，还包括主阳极、阴极、隔膜及至少一片偏阳极；隔膜将电解槽形成的腔体分隔成阳极室和阴极室；主阳极设置于阳极室内；阴极设置于阴极室内；偏阳极设置于阳极室内；主阳极、阴极、偏阳极及隔膜两两相互平行且间隔。该装置利用主阳极和偏阳极形成三维组合的结构，当电解槽接通直流电源时，能有效抑制氯气析出的作用。由该装置形成的系统既有利于环保，又能够很好的回收电解铜及循环再生蚀刻液，实现回收过程无污染排放，同时兼具经济效益和资源重复利用的多重效益。

主权项

一种酸性蚀刻液循环再生的电解槽装置，包括电解槽，其特征在于：还包括主阳极、至少一片阴极、至少一片隔膜及至少一片偏阳极；所述隔膜将所述电解槽形成的腔体分隔成阳极室和阴极室；所述主阳极设置于所述阳极室内；所述阴极设置于所述阴极室内；所述偏阳极设置于所述阳极室内，设置在所述主阳极和所述阴极两者所夹的区间内；所述主阳极、阴极、偏阳极及隔膜两两相互平行，且所述主阳极、偏阳极及隔膜两两之间有间隔，所述阴极和隔膜之间有间隔。