[实用新型]一种MEMS麦克风有效
| 申请号： | 201521081989.X | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205596342U | 公开（公告）日： | 2016-09-21 |
| 发明（设计）人： | 张庆斌;王顺;王会军;刘诗婧 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京市隆安律师事务所 11323 | 代理人： | 权鲜枝;吴昊 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，该麦克风包括外部封装结构、MEMS芯片和ASIC芯片，外部封装结构上设置有声孔，外部封装结构内部设置MEMS芯片和ASIC芯片，外部封装结构包括：上盖，形成中空腔体的中间壳体和下基板，中间壳体的内壁上覆有铜箔，铜箔表面采用电金工艺或沉金工艺处理镀上金属保护层，铜箔沿所述中间壳体的上下两面有一段距离的延伸。本方案通过将MEMS麦克风中间壳体内侧壁上的铜箔沿中间壳体的上下两面延伸一段距离，使得刻蚀后，金属保护层下侧留有大部分铜箔，对金属保护层有支撑拉扯作用，在后续的加工处理中，金属保护层不会断裂产生金属毛刺，不会产生短路的不良后果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 | ||
【主权项】：
一种MEMS麦克风，所述麦克风包括外部封装结构、MEMS芯片和ASIC芯片，所述外部封装结构上设置有声孔，所述外部封装结构内部设置所述MEMS芯片和所述ASIC芯片，所述外部封装结构包括：上盖，形成中空腔体的中间壳体和下基板，所述中间壳体的内壁上覆有铜箔，所述铜箔表面采用电金工艺或沉金工艺处理镀有金属保护层，其特征在于，所述铜箔沿所述中间壳体的上下两面有一段距离的延伸。
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