[实用新型]真空设备有效
| 申请号： | 201521082653.5 | 申请日： | 2015-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN205443430U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 张珅骏;朱晓庆 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空设备，其包括传送室、与传送室连通的过渡室及位于过渡室内用于运送玻璃基板的运送臂，所述真空设备还包括用于清扫运送臂的清扫装置。本实用新型提供的真空设备上增加了清扫装置，该清扫装置可以自动清理真空设备内部运送臂上的玻璃碎片，因此，避免了现有人工清理所产生的问题。同时，该清扫装置结构简单，操作方便，装有该清扫装置的真空设备进行真空蒸镀工艺的生产效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 真空设备 | ||
【主权项】：
一种真空设备，其包括传送室、与传送室连通的过渡室及位于过渡室内用于运送玻璃基板的运送臂，其特征在于：所述真空设备还包括用于清扫所述运送臂的清扫装置，所述清扫装置包括气缸、与所述气缸连接的气缸连杆、与所述气缸连杆连接的驱动马达及与所述驱动马达连接的用于清扫运送臂的清扫单元。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201521082653.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：立式可变高度枪械磷化设备
- 下一篇：一种贫铀棒连接结构
- 同类专利
- 专利分类
